截至上午十点整，光刻机板块指数上午涨幅达3.71%。板块内多只个股表现活跃，波长光电20%涨停，永新光学10%涨停，茂莱光学涨7.95%，张江高科涨3.5%。这轮行情的驱动主要来自三大利好因素：一是技术突破，据媒体报道中芯国际正在测试由上海初创公司宇量升制造的首款国产深紫外光刻机（DUV光刻机），采用浸没式技术，测试结果鼓舞人心；二是政策支持，工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，将KrF/ArF光刻机纳入相关目录；三是资金加持，国家大基金三期以3440亿元人民币注册资本注入光刻产业链，计划未来五年内完成投资。这些因素共同推动了光刻机板块的强势表现，反映了半导体设备国产化进程的加速。在光刻机板块表现亮眼的背景下，易方达基金旗下多只相关产品为投资者提供了布局这一赛道的高效工具。半导体设备ETF易方达（159558）截至2025年9月18日，基金规模为6.00亿元，近3个月资金净流入1516万元，近一周净流入1.22亿元，显示出中长期资金的持续布局和短期资金的明显流入。9月18日，该ETF上涨3.55%；9月19日盘中继续上涨1.49%，延续了近期的强势表现。该ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只涉及半导体材料和设备领域的上市公司证券作为样本，全面反映相关企业的整体表现。近期，受益于AI算力需求上升、国产替代加速以及政策支持，半导体设备板块热度持续攀升，带动该ETF表现亮眼。当前我国半导体产业正处在国产替代的关键时期，光刻机等核心设备的突破带来巨大投资机遇。易方达基金作为国内领先的资产管理机构，旗下芯片主题和科创主题ETF产品线布局完善，为投资者提供了便捷高效的一键布局工具。建议投资者可关注半导体设备行业的长期发展趋势，根据自身风险承受能力，通过定投或分批布局的方式参与相关ETF产品，分享半导体产业升级带来的投资机遇。
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